孟国栋　成永红　酉小广　吴锴

微机电系统（MEMS）是可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统，这些MEMS器件包括微动开关、微镜、静电执行器、微米导线等距离很近的器件，相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过1厘米，甚至仅仅为几微米，其厚度就更加微小。当高压施加到该尺度的MEMS结构上时，会形成很高场强（10⁸V/m），极易导致器件结构的电气击穿失效，因此，MEMS器件中微尺度电极结构的放电击穿理论的研究对于微纳米器件的设计以及可靠运行都具有重要的意义。