朱鹏轩，徐超熙，李玉彬，李学慧

（大连大学物理科学与技术学院纳米磁性液体研发工作室，辽宁大连116622）

1 引 言

由于水泵在日常生产生活中有着广泛的应用，从20世纪80年代开始，我国一些科研单位相继开始了对高性能、高质量水泵的设计和研究[1－2].这些水泵工作时因压力的波动与脉动、流体的不稳定流动与阀半开引起的涡流影响、气蚀、水锤、转动部件不平衡、安装缺陷引起的偏心转动、油膜的影响等因素会引起负面作用：影响水泵的使用寿命；容易产生振动与噪声，造成噪声污染[3－5].

磁性液体既具有液体的流动性，在磁场下又具有固体磁性材料的磁性.为了解决上述常规水泵引起的负面影响，利用磁性液体的场致软磁特性[6]，研制了可以避免由于机械碰撞、摩擦产生噪声的磁性液体静音水泵，搭建了磁性液体静音水泵研究装置平台，并设计加工了1台样机，对此样机进行了相关的实验研究，实验结果表明其产生的噪声级数远小于常规水泵.

近几十年来微机电系统技术（MEMS）发展迅猛[7]，磁性液体静音水泵研究装置平台，提供了一种由变化磁场控制膜片腔往复运动的磁性液体微致动泵设计构造思路的可行依据，并且不同于文献[8－9]中的设计.

2 装置的设计

2.1 装置总体设计与工作机制

如图1所示，装置主要由控制磁场模块、磁性液体振子腔模块与单向阀模块组成.控制磁场模块由2个控制电磁铁对称分布，该模块还装有显示屏，可以实现对电……