马 成，徐 磊

（湖北大学 物理学与电子技术学院，湖北 武汉 430062）

引 言

薄膜技术是当今材料科学研究的热点，厚度是薄膜的重要物理参数，因而膜厚的测量自然成为研究材料特性十分重要的工作。对于固态薄膜，常见的膜厚测量手段主要有直接测量如螺旋测微法、显微镜法［1］，间接测量如干涉法、偏振法［2］等。传统的迈克尔逊干涉仪除了可以用来观察等倾干涉、等厚干涉和白光干涉等各种干涉现象［3］，也能测定薄膜厚度，但必须要求薄膜透明且折射率已知。如一些文章［4－6］中介绍过利用白光干涉法和干涉极值法测薄膜厚度，但光路调节要求高、操作繁复，必须已知折射率，而且折射率本身的误差对结果影响较大。为了克服此不足，文中利用朗威DIS力传感器（分辨力0.01N）对GSZF－4型迈克尔逊干涉仪加以改进，提出了实验原理及具体测量方法，并分析了该方法的优点与不足，实验结果反映出较好的精确度。

1 实验原理

1.1 迈克尔逊光路原理

迈克尔逊光路原理如图1所示，平面镜M1、M2严格垂直；G1、G2为平行等厚的平玻璃板，分光板G1一侧（图靠右侧）镀有半反半透膜，起分光作用；补偿板G2用于弥补光束①在G1板中往返两次所多走的光程。光源S射出的光束，在半透膜处分成两束，一束反射光①和一束透射光②。光束②经G2到M2后，反射回来经G2射到半透膜上，再反射到观察屏P；光束①经半透膜反射后，到M1后又反射到半透膜上，再经透射到观察屏P；由于满足光的相干条件，这两束光在屏上相遇就形成干涉条纹。……