徐海清，钟洪胜，袁国伟，赵国鹏，胡耀红

（广州市二轻工业科学技术研究所，广东 广州 510663）

【电子电镀】

电化学法再生酸性氯化铜蚀刻液评述

徐海清*，钟洪胜，袁国伟，赵国鹏，胡耀红

（广州市二轻工业科学技术研究所，广东 广州 510663）

综述了电化学法再生酸性氯化铜蚀刻废液的研究现状，全面分析了各种电化学法的优缺点，并讨论了电化学法再生酸性蚀刻液中可能出现的阳极析氯、阴极析氢问题，探讨了电极材料和膜材料的选择，指出了酸性蚀刻液电化学再生法的发展趋势。

印刷线路板；酸性氯化铜蚀刻液；再生；电化学法

1 前言

酸性氯化铜蚀刻液因具有蚀刻速率快，稳定、易控制及容易再生等优点，普遍应用于目前的印刷线路板(PCB)的蚀刻工序中[1-2]。酸性氯化铜蚀刻液种类丰富，主要有HCl/CuCl2、HCl/NaCl/CuCl2、HCl/NH4Cl/CuCl2等体系，这些蚀刻液在蚀刻铜箔过程中会发生 Cu + Cu2+→ 2CuCl (s)的反应。随着该反应的进行，蚀刻液中Cu2+浓度减小，而Cu+浓度不断增大，当Cu2+消耗至一定程度后，蚀刻液的蚀刻能力将无法满足生产要求而需要再生。蚀刻液再生是在维持蚀刻液其他成分不变的前提下，使溶液中的Cu+氧化为Cu2+。酸性蚀刻液再生主要有化学再生法[3]和电化学再生法[4-13]。化学再生法如氯气氧化法、氯酸钠氧化法、双氧水再生法等，需加入氧化剂等物质，最终都会对外排出一部分酸性蚀刻废液，不仅污染环境，还会造成大量铜和酸的浪费。电化学再生法是一种在线再生方法，可以实现蚀刻工作与蚀刻液再生在一个循环体系中连续运行，即阳极再生蚀刻液的同时，还可在阴极沉积回收铜，使蚀刻过程中增加的铜得以回收，为PCB企业增加额外的收入，而且基本没有废液、废气的排出，是一种环境友好型清洁生产工艺。……