季智勇，丁霞，黄效东

江苏省南通市肿瘤医院 医疗设备科，江苏 南通 226361

日立电镜真空系统工作流程分析与故障检修

季智勇，丁霞，黄效东

江苏省南通市肿瘤医院 医疗设备科，江苏 南通 226361

本文分析了日立H600型透射电镜真空系统的工作流程，并就遇到的真空系统问题进行了仔细分析，查找判断故障点，排除故障，进而讨论了在检修真空系统故障时的一般思路。

透射电子显微镜；真空系统；医疗设备维修

电子显微镜是非常精密的电子仪器，在医学中主要应用于分子结构的病理分析，其放大倍数可以达到100万倍以上，其中真空系统是电子显微镜结构中非常重要的组成部分，其性能好坏直接影响到电子显微镜的优劣。电子显微镜的真空系统一般是由机械泵、扩散泵、真空管道、阀门及检测系统组成，它用以排除镜筒中的空气使镜筒达到高真空状态。

1 流程分析

图1 日立H600型透射电子显微镜真空系统结构

日立H600型透射电子显微镜采用二级抽真空方案: 机械泵和油扩散泵。一个好的机械真空泵理论上极限真空能达到0.06Pa 以下，实际上很难达到。当达到这个压力以后，机械泵的抽速就变得越来越低，为了提高抽速，就需要使用油扩散泵， 将油扩散泵和机械泵串联使用以达到更高的真空度。油扩散泵是利用快速运动的油分子的动能，在一定方向带走较轻的气体或水蒸气分子，这样就把残留的一些气体分子从真空系统中移走。

日立H600型透射电子显微镜真空系统分为上真空和下真空两个部分（如图1所示）。……