本刊记者 伍泠豫

成步文：放眼未来 不懈探索

本刊记者 伍泠豫

成步文研究员和他的恩师王启明院士

专家档案：

成步文，研究员，博士生导师，中国科学院半导体研究所光电子研发中心副主任。目前主要从事Si基半导体异质结构材料的外延生长及相关光电子器件和光电集成技术的研究。在硅基异质结构材料外延设备、材料生长动力学、硅基光电子学器件等方面取得了重要研究成果。如：主持研制出国内最先进的硅基异质材料外延专用超高真空化学汽相淀积（UHV/CVD）系统；首次观察到自组装Ge量子点生长中的形态反常演化和多层Ge量子点的斜对准耦合现象；国内首次外延生长出高质量的硅基厚Ge材料和硅基GeSn合金材料，国内首次研制出Si基Ge长波长高速光电探测器、SACM结构Ge/Si APD、硅基Ge/Si异质结室温工作LED器件和全波段响应GeSn/Si光电探测器硅基光子学器件等。在国内外重要期刊和会议上发表论文150余篇，获得国家发明专利11项。

微电子技术经过五十余年的高速发展，其特征尺寸已接近物理极限，“后摩尔定律”时代信息技术的发展走向成为世界共同关注的议题。硅基光子学和光电子集成技术近年来发展十分迅速，特别是随着微纳加工技术的发展以及新材料、新结构、新概念的运用，使得硅基光电子学充满了生机和活力。

选择了科学研究，就选择了一条没有尽头的清苦而寂寞的道路，在硅基光电子学的研究道路上，中科院半导体所成步文研究员经历着蜕变，体味着艰辛，在事业与人生的每个路口处，都留下深沉的思考与稳健的脚步，从容淡定，直道而行……