顾耀宗/上海市计量测试技术研究院

第二十九讲 工具显微镜

1 概 述

工具显微镜是一种多用途的光学机械式两坐标测量仪器。通常采用影像法和轴切法测量精密机械零件的长度和角度。以直角坐标或极坐标方法测量机械零件的形状误差。根据其功能和测量范围，工具显微镜分为万能工具显微镜、大型工具显微镜和小型工具显微镜（以下分别简称为万工显、大工显和小工显）。

工具显微镜属于绝对测量仪器。其长度基准元件：毫米玻璃标尺或光栅尺（对于万工显）、精密丝杆和量块（对于大、小工显）以及角度基准元件：光学度盘与被测工件相比较，从而确定被测工件的各项参数。

以万工显为例介绍其工作原理，由物方远心照明系统发出的光，照明放置于仪器工作台上的被测工件，而后通过中央显微镜物镜成像于目镜分划板上。分别移动万工显纵向或横向滑座，并利用目镜分划板上各标记瞄准定位。最后借助纵向和横向读数显微镜确定被测工件的坐标位置，从而达到测量目的。 被测工件置于平面工作台上，用纵横向滑座移动定位就构成直角坐标测量。如配上附件圆分度台则可作极坐标测量。再则如把工件安置在万工显的附件分度头上，就可用圆柱坐标进行测量。

万工显的纵向滑座上安置顶针座，利用顶针可对螺纹、丝杆、圆柱等带顶针孔的工件进行测量。根据不同的测量对像和测量要求可选用测量刀装置进行轴切法测量；……