郑 浩，李延夫，孙 礼，杜 健

(1.沈阳仪表科学研究院，辽宁 沈阳 110043;2.国家仪器仪表元器件质量监督检验中心，辽宁 沈阳 110043)

0 引言

受特有的加工工艺、产品结构和工作特性影响，硅基压力传感器产品在精度、重复性、稳定性方面表现出色，但在温度特性、振动可靠性等方面受设计制造影响易产生问题。

针对不同产品，为达到不同目的，可选择的可靠性试验分类包括:

(1)以环境条件划分各种应力条件下的模拟试验和现场试验;

(2)以试验项目划分的环境试验、寿命试验、加速试验和各种特殊试验;

(3)以试验目的划分的筛选试验、鉴定试验和验收试验;(4)以试验性质划分的破坏性试验和非破坏性试验。

其中，环境试验是考核产品在各种环境(振动、冲击、离心、温度、热冲击、潮热、盐雾、低气压等)条件下的适应能力，是评价产品可靠性的重要试验方法之一。以硅基压力传感器为试验对象，开展可靠性强化试验技术研究，通过对产品系统地施加预定的环境应力和工作应力，激发故障并暴露设计中的薄弱环节，评价产品设计的可靠性，通过快速检测并清除产品的潜在缺陷，可实现在短期内提高产品可靠性。

1 机理分析

硅基压力传感器产品的可靠性与工作时所处的环境条件(如温度、湿度、气压、盐雾、霉菌、辐射等)、负荷条件(如振动、冲击、碰撞、跌落等)和工作方式(连续、断续)密切相关，可靠性强化试验一般选取上述参数作为试验应力。硅基压力传感器采用硅基芯片作为核心敏感器件，通过隔离封装方式进行压力传递，其结构特性和工作特性决定振动应力是影响其产品可靠性的重要因素。……