杨志丹，张治杰

（海装天津局 北京 100076）

0 引言

1 静电起放电机理及静电危害分析

任何两种不同的物体或处于不同状态的同一种物体，发生电荷转移，当这种不平衡的电荷产生了可以测量到的电场，这形成了物体的静电带电现象即静电起电（electrostatic electrification）。带静电荷的物体通常称为静电源，当带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时，导致介质电离而使带电体电荷瞬间部分或全部消失的现象，即静电放电（ESD）。静电放电能够改变半导体器件的电性能，也能扰乱电子设备的正常操作，进而引起故障或损坏。

1.1 静电起、放电过程

静电产生与材料的电阻率、接触面积、分离速度及环境湿度有关。电阻率越高，越易积聚电荷，静电位越高，越不易泄漏。环境湿度对静电产生的影响也很大，湿度为10%～20%时，产生的静电要比湿度为70%～80%时高8%～40倍。静电放电损伤主要是带电体对器件的直接放电和电场感应放电两种情况。尽管决定一个物体带电、放电的因素很多，但主要有下面几个过程。

(a) 接触— —分离起电、放电

它的起电主要指固体与固体之间的接触——分离起电，就是指两种不同的固体紧密接触、分离以后在分离面上产生电子转移，一些电子从疏电子类的物质向亲电子类的绝缘物质转移，带上符号相反、电量相等的电荷，与之相似的静电起电有剥离起电、破裂起电、电解起电等。当该带电体接触静电放电敏感器件时就发生ESD事件。

(b) 电场感应起电、放电

静电敏感器件进入静电场，就因感应发生电荷再分布而带电。……