刘小涵 ，姜明珠 ，曹宏 ，董旭 ，高海侠

(1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033；2.长春市奥普光电技术股份有限公司，长春 100031)

新型材料碳化硅(silicon carbide(SiC))比刚度高、热稳定好、质量轻等一系列优良的物理化学性能，世界各国的研究者均将其列为空间光学遥感器优选的反射镜材料[1-2]，随着科技的飞速发展，碳化硅材料是材料发展中最为迅速的一支新军，已开始应用于汽车、机械、宇航、化工、石油等许多工业领域的发动机燃烧部件、火箭喷嘴、燃汽轮机发动机叶片、浇注金属的浇口、热电偶套管高温下的热交换材料、核燃料的包封材料等方面[3-4]。

美国、俄罗斯、德国、法国等国家从20世纪80年代初开始研究SiC材料，90年代用SiC制作反射镜，应用在温度变化大的光学系统中[5-7]，我国在SiC材料的研究方面基本上与国际同步，光学加工技术比较成熟，而机械加工方面的报道还比较少。由于碳化硅材质越来越多地应用于机械行业，如果只靠烧结铸造来保障尺寸精度和形位公差，这不仅增加铸造的难度，也降低了公差配合的精度。针对碳化硅的硬度大、普通机械加工难的特点，本文进行了碳化硅机械加工工艺方法研究，并取得了较好的实验结果。

1 碳化硅材料性能

由于碳化硅反应烧结的原理使SiC具有许多其它材质所没有的优良特性[8-10]：(1)比刚度大，单位载荷引起结构的变形小，尺寸稳定性好，可以降低反射镜的厚度，做成蜂窝状结构起到减重的目的，反射镜与框一体化，减少装调误差。……