吴迪，齐向东，车英，郭林炀

(长春理工大学 光电工程学院，长春 130022)

衍射光栅是利用光的多狭缝衍射效应进行色散，使光波衍射而产生大量光束，从而利用这些光束的干涉形成光谱的光栅元件，它是应用在光谱仪器中的核心元件之一，在光谱应用中起着相当重要的作用[1，2]。

本文首先介绍生产中导致衍射光栅质量下降从而产生衍射波前缺陷的原因，其次针对凹面衍射光栅波前检测方法进行研究设计。实验光路的搭建基于泰曼干涉仪检测原理，针对凹面光栅检测进行相应的改进，获取凹面光栅零级和一级干涉条纹，从而证明用干涉法检验凹面光栅衍射波前的可行性。

1 刻划误差和波面像差的关系

刻划误差一般有如下几种：单周期刻划误差，多重周期刻划误差，小尺度(或单一刻槽)刻划误差以及累积刻划误差[1]。

小尺度刻划误差即一块刻划完美的平面光栅将产生完善的平面衍射波面。在自准直情况下，一块光栅可看作是倾斜放置阶梯的形式，如果观察者位于衍射波面的垂直方向上，衍射波面平行于垂直刻槽的一条边，并与光栅的平均表面倾角设光栅的一个刻槽沿平均表面位移a，则在波面垂直分量上的变化，衍射波面象差为故其波面象差为：

则波面位相象差为：

积累刻划误差是由于刻划过程中，刻刀与基坯之间摩擦力的变化，刻刀的震动，刻划机器的温度变化等原因造成的，它是衍射光栅波面线性波象差的主要来源。……