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基于声子晶体的声表面波器件研究进展

2011-03-14刘勇莫家庆

电子设计工程 2011年10期
关键词:方法研究

刘勇,莫家庆,2

(1.新疆求是信息科技有限公司新疆乌鲁木齐830000;2.西安交通大学电子与信息工程学院,陕西西安710049)

声表面波技术在各种现代电子、通信技术领域的应用研究十分广泛,声表面波器件具有尺寸小、抗辐射能力强、制备工艺成熟,易于大量生产等优异性能,已发展为当代三大固体微电子器件之一[1-2]。随着电子、通信技术的进一步快速发展,声表面波器件将会在电子工程、移动通信、网络技术、传感器技术等方面发挥更为重要的作用[1],而开发性能更加优越的声表面波器件也将成为通信技术产业的研究方向之一。

具有完全禁带的光子带隙材料—光子晶体的研究使得光通信、光计算、光集成等诸多领域开发出众多性能优越的新型器件产品,而类比光子晶体的概念,将光子带隙材料的概念延伸至弹性波的声波频段,也发现会产生具有类似光子晶体的禁带效应,即声子带隙材料或声子晶体[3]。因此,同光子晶体对光波的传播控制一样,声子晶体也可用于弹性波的传播控制,在新型声学器件等领域具有广阔的应用前景[3]。

声子晶体对于声波在传播过程中的控制同样适用于声表面波,因此,近些年来,研究声表面波在声子晶体中的传播特性成为声表面波技术领域的一大热点,将声子晶体技术与声表面波技术相结合,有望获得声表面波微传感器等诸多性能优异的通信器件[4-5]。目前,有许多国际课题研究组都展开了基于声子晶……

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