高金海，张武勤，李 桢

（郑州师范学院物理系，河南郑州450044）

1 引 言

场发射显示器（FED）集阴极射线管（CRT）和液晶显示器（LCD）的优点于一体，以其低的应用电压，低的成本，大的温度适用范围，宽广的视角，极短的反应时间，高清晰度，高质量画面等优势在未来显示器应用上占有很重要的地位[1].制约场发射显示器量化生产的主要障碍在于场发射显示器的阴极材料的制备很不成熟.目前该显示器还处在实验室研发阶段，我国的福州大学[2]、韩国的三星、日本的索尼等研究单位处在研发的前沿[3]，他们都是以碳纳米管作为阴极材料，也有样机的成功制造，但稳定性有待提高，远未达到工业化的能力.由于金刚石、类金刚石、非晶碳具有负的或低的电子亲和势[4－5]，人们正在努力把它们制备成新的场发射显示器阴极.化学气相沉积的方法[6－7]提供了一种在较低温度下，相对较容易制备可准确控制化学成分及涂层结构的材料，因此在制备碳类阴极方面被越来越广泛地应用.我们利用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）在甲烷与氢气的体积比为1／10的情况下，制备出了不同形态的类球状微米金刚石聚晶薄膜.为了提高场致电子发射性能，可以从影响发射电流的因素进行分析，根据场发射的理论公式Fowler－Nordheim方程

在外场一定的情况下，影响场发射电流的因素是场增强因子β和表面功函数Φ，在膜外形基本一定的情况下场增强因子β变化不大，要想改变场电子发射特性，只有……