王国强，刘红日

（1.郧阳师范高等专科学校 物理与电子工程系，湖北 十堰 442000；2.湖北师范学院 物理与电子科学学院，湖北 黄石 435002）

多铁材料由于同时具有铁磁性、铁电性和铁弹性而可用于设计制作多功能器件，已引起人们广泛的关注［1－2］.截止目前，有超过80个单相的多铁复合物生成，这些多铁复合物要么是单相的化合物或是固溶体复合体系［3］.在这些复合物中，BiFeO3（BFO）是研究最广泛的一种化合物，它具有铁电性、铁弹性和较弱的铁磁性［4］.BFO为扭曲的斜方钙钛矿结构，晶胞参数a＝0.396nm 和α＝0.6°［5］.BFO薄膜具有高剩余极化和强压电效应，这使得其可能成为铅基铁电材料的替代材料以降低对环境的影响.目前对BiFeO3的兴趣主要集中在其高居里温度（TC＝1100K）和磁有序温度（TN＝650K）在实际中的应用方面［6］.

最近，人们用磁控溅射法或脉冲激光沉积法在各种基底上制备了 BiFeO3薄膜［7－8］.在 Si或Sr－TiO3基底上通过外延生长，观察到了50μC／cm2至100μC／cm2的剩余极化.作为软化学方法的溶胶－凝胶法，由于它相对其它沉积技术具有诸如良好的均匀性，组分控制精确，能够大面积均匀成膜等的优势［9－10］，已备广泛地应用于铁电薄膜的制备.现已发现，利用溶胶－凝胶法制备的薄膜性能，以下几个方面是非常关键的：1）底电极（或衬底）；2）退火温度和方法；3）前躯体溶液.目前人们已经在不同衬底和不同底电极上制备了BFO薄膜［11－13］.其中 Pt／Ti／SiO2／Si是常用的一种 基底，在已有的工作中，用不同的先驱体溶液在Pt／Ti／SiO2／Si基底上制备的BFO薄膜，实验测得BFO薄膜的剩余极化值从几个μC／cm2到100μC／cm2.此……