周炳君

(金氿科技有限公司，江苏宜兴 214200)

300 mm FAB一般设计成全自动的生产线，这对整个FAB的信息控制系统(FICS)提出了严格的要求和挑战。FICS集成是建立300 mm FAB的关键之一。一般来说，FICS的全部费用为整个FAB预算的2%～3%，它不但是决定FAB效率的主要因素，而且还影响着FAB的实际容积(capacity)、可利用率(utilization)等。自从2003年IBM在EastFishkill建立了第一条全自动的300 mm FAB以来，世界各地陆续出现了各种用途类型、具有不同自动化程度的类似工厂。FICS的各个软件模块也趋成熟。本文粗略地探讨了65 nm用于生产微处理器(Microprocessor)的300 mm FAB的FICS集成和挑战。

图1 FICS系统

1 系统架构

目前，大部分300 mm FAB的FICS系统架构大同小异。工厂系统集成 (FactoryIntegration)决定了FICS的质量，系统集成的水平、所用软件的先进性是衡量FAB操作生产等级的标志。图1展示了FICS的架构。毫无疑问，这是一个分布式的计算系统。类似的架构以被IBM、Global Foundries等世界顶级的FAB所应用。该系统的优点是实现全自动操作，包括数据采集，实现真正意义上的自动化生产线，各个子系统模块分离程度高(De-Coupled)。缺点是，MQ Series并不是一个理想的实时数据交换媒介。但MQ Series和Corba的选择，受限于MES系统的限制。

(1)MES系统。目前，用得较为广泛的是IBM的SiView。

(2)EI是远程主机连接系统。目前该系统比较丰富多彩，Intel，IBM，GlobalFoundries等公司都有他们自己的版本，所用的产品都是200mm线上相应的软件产品改良而来的，一般比较陈旧，尤其是底层的SECS协议。而金氿科技的产品是目前较先进和可靠的。

(3)ABS(Agent Based Scheduling)是事件(包括材料)的调度和决策系统。

(4)APC(Advanced Process Control)使用 Catalys以及FDC软件(Fault Detection and Classification)。

(5)EDA软件系统可使用SAPPHiRE。

(6)处方管理、数据采集系统用ARMOR；ADAPT(AdvancedDataAcquisitionPlanTool)是数据采集设置。……