韦进文　郭俊杰

摘要：提出了用于坐标测量机(CMM)加速度误差补偿的气浮导轨的刚度和阻尼的估计方法。利用CMM框架模型建立振动方程，并转化为包含刚度和阻尼参数的惯性系统的频响函数形式。通过试验测试了CMM系统的加速度频率响应，由相应的Bode图而非Levy法估算了CMM气浮导轨的刚度与阻尼，对参数辨识后的CMM系统进行模态分析，从而得到了采用模态叠加法的加速度误差补偿模型。试验表明，用该方法进行的加速度误差补偿，CMM测端处误差预测值与实测值的相关系数大于O.7，证明了该方法的可靠性。

关键词：坐标测量机；气浮导轨；误差补偿

中图分类号：TH703.4；TH113．1文献标志码：A文章编号：0253—987X(2009)01—0047—05