敖一程

摘要：改革开放以来，中国的经济、生活都取得了巨大的发展，这离不开新技术的开发以及新材料的应用。而且为了满足市场经济的发展需求，中国需要加快新技术的研究步伐，使得自身的技术可以与世界先进技术比肩，提升中国产业的发展活力。半导体材料被应用到各行各业，发挥了巨大作用，随着研究的深入半导体材料也升级发展都第三代，技术发展还将推动半导体材料向更高层次发展，这就需要具备完善的配套设备，才能发半导体材料的价值。本文就新形势下中国半导体设备的发展现状及发展前景展望进行分析，希望能够为半导体行业的发展提供一些借鉴。

关键词：新形势;中国;半导体设备;发展现状;发展前景;展望

引言

半导体材料主要以硅化物及时衍生物为主，半导体工艺技术以及设备在近几年都获得了巨大的发展，科技含量日益提高。尤其是当前生产生活中对电子设备的需求量大，半导体作为电子设备的基础产品，自然成为各国产业研究的重点。半导体材料也有一代升级为三代，但发展的速度并不会止步不前，设备也会持续更新换代，新形势下中国半导体设备还有广阔的发展前景。笔者依据搜集的材料以及专业知识对此展开了细致的研究，为半导体设备的发展献出绵薄之力。

1中国半导体设备发展现状分析

1.1部分技术发达

中国半导体行业近年来取得了突出的成就，很多技术位于世界先进水平，改变过去日美垄断的局面，对我国半导体行业发展具有重大意义。经过多年培育，国产半导体设备已经取得较大进展，整体水平达到 28nm，并在 14nm 和7nm 实现了部分设备的突破。

1.2新型行业、产业对半导体材料应用量大

半导体材料需求的增加，需要设备的生产能力与之相匹配。电子科技行业的发展需求大量的半导体材料，例如LED光照、新能源汽车、5G通信技术等。但是今年又受到新型冠状病毒的影响，疫情防控期间，社区、高铁站、高速路口等重要关口都配备了测温仪、红外成像监控仪等电子设备。作为这些电子设备的核心部件，非制冷红外MEMS传感器芯片的持续供应成为关键一环，芯片中就有半导体材料。所以需要足够的设备满足防疫的需求。

1.3顶尖人才还是不足

尽管我国的半导体材料以及设备的发展取得了很大的进展，但是顶尖人才不足依然是半导体行业发展的弊端，人才的创新能力以及探索能力不够，延缓了新技术以及新设备的研发速度。因此要想进一步发展就需要引进、培养顶尖人才，以推动行业发展。

1.4某些技术还不够成熟

中国的半导体设备发展的速度快，但是还是有部分技术不够成熟。以离子注入设备为例，应用材料占据粒子注入机的 70%以上的市场，高端离子注入机前三家包揽 97%市场份额，行业高度集中。目前国内只有凯世通和中科信有离子注 入机的研发生产能力，17 年凯世通销售太阳能离子注入机有15 台，还存在很大的不足。

2中国半导体设备发展前景展望

2.1国内市场广阔

5G与人工智能不仅在2020年短期带动半导体设备市场回温，还将长期支撑半导体设备业的发展。AI与大数据的发展，均将长期驱动对半导体设备的投入。中银国际证券的研究报告预测，2017-2020年，人类进入5G、人工智能和物联网时代，半导体制程设备的市场规模将增加到500亿～600亿美元以上的数量级。华为的5G技术更是达到了世界顶级水平，在全球获得好评。

2.2人才越来越丰富

为了推动半导体设备以及材料的发展，国内各大高校加强了人才的培育，电子科技专业的招生人数不断提升，专业师资力量以及教学配套设备也不断完善，而且国内高校加强与国外高校的联系，输送人才前往最掌握先进技术以及理论的学校学习，国内高校与企业联合成立专业的科研团队展开设备研究。

2.3竞争力持续提升

半导体材料具备广阔的发展前景，因此国外内外行业之间的竞争不断加剧，谁最先掌握新技术，谁就可以占据更多的市场份额，获取更大的利润，因此各国都在加速研究新材料以及新设备，以光刻机为例，经过笔者的研究发现，国外的阿斯麦尔、尼康、佳能在研发上处于垄断地位，因此中国企业不仅要研发新技术，更要拓展市场。

2.4EUV光刻机需求持续攀升

随着半导体制造工艺向7 nm以下持续延伸，对EUV光刻机的需求将进一步增加。半导体专家莫大康介绍，EUV的光波长为13.5 nm，大大小于之前的氟化氩（ArF）激光波长（193 nm），可在不采用多次曝光成像的情况下绘制更加细微的半导体电路。而且这项技术还能简化成像工艺流程，因此目前被视为7 nm以下工艺的突破口。EUV的好处是减少芯片处理步骤，使用EUV代替传统的多重曝光技术将大大减少沉积、蚀刻和测量的步骤。这或许将对沉积、蚀刻和测试设备厂商的市场发展产生一定影响。当前这类机器较少，还有非常大的缺口，因此我国企业要加快设备的研究、生产，满足市场紧缺的需求。

3如何推动中国半导体设备的发展

3.1积极应对国外挑战

国内企业要提升自身的发展能力，提高技术含量，应用新技术应对国外的挑战。5G与人工智能等新一代信息技术发展的影响，刺激了半导体产品的需求，5G技术的已经成为不可扭转的趋势，各国企业都想在5G中分取一杯羹。所以要推动技术发展，以质量好、性能高、价格低等优势提升自身的竞争力。

3.2规避国内问题影响

国内市场的发展需要刺激需求，电子科技行业还需进一步提升发展水平，提供更多的缺口。上文提到受到疫情的影响，半导体设备需求增加。但由于半导体产业链长、涉及面广、全球化特点显著，短期来看，疫情带来的人力、物流短缺、资金链吃紧以及国际交流受限等问题会对产业造成一定的不利影响。因此企业要积极寻找解对策，满足国内需求的基础上，提高自身的发展能力。

3.3加快拓展发现新机遇

我国电子产业以出口为主，虽然芯片的客户大多在国内，但是终端却以全球为主。所以全球物流运输的通畅对我国半导体产业至关重要。新冠肺炎疫情的爆发一下子让人脸识别、语音交互等非接触式人工智能技术受到了很大的关注，但是口罩等的应用又阻碍了人脸识别，但也为语音交互技术提供了发展契机。因此我们要积极抓住机遇，研发新技术，以更新的技术满足人们的需求，为产业发展增添新的活力。

结束语：生活生产中很多产品、设备中都有半导体，半导体材料在我们的生存中发挥着重要作用。当前通信方面5G技术成为发展大趋势，AI智能成为各国研究的重点，这些技术的发挥都离不开半导体材料的支持，因此半导体材料的研究开发是我国材料行业研究的重心，抓住半导体材料市场，提升其在世界市场中的竞争力，与此同时也需要有配套半导体设备。尽管我国在半导体研究上取得了很大的成就，但是要想顺应新材料日新月异的发展速度，还需进一步展开研究。本文对新形势下中国半导体设备的发展现状及发展前景展望的分析还存在很大的不足，日后还会继续进行研究、分析。

参考文献：

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